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| 技术参数 | 单位 | RDE400 | |
|---|---|---|---|
额定流量 | m3/h | 333/400 | |
| L/min | 5556/6667 | ||
| cfm | 196/236 | ||
| 极限压力 | Torr | ≤7.5x10-3 | |
| mbar | ≤1x10-2 | ||
| Pa | ≤1 | ||
| 马达 | 频率 | HZ | 50/60 |
| 电压 | V | 220/380/440 | |
| 额定功率 | HP | 15/20 | |
| KW | 11/15 | ||
| 链接 | 进气口 | ISO63 | |
| 排气口 | NW50 | ||
| 冷却水 | 流量 | L/min | 18-28 |
| 温度 | ℃ | 6SLM18℃-15SLM28℃ | |
| 压力 | kg/cm3 | 2.0-4.0 | |
| 接头 | RC3/8" | ||
| 氮气 | 流量 | L/min | 依制程By process |
| 接头 | Swagelok1/4" | ||
| 转子转速 | rpm | 3000 | |
| 噪音 | dB(A) | ＜68/＜70/＜75 | |
| 系统最大漏率 | mbar.l/s | ＜1x10-5 | |
| 室温操作范围 | ℃ | 5℃-40℃ | |
| 操作湿度 | RH | 90%以下 | |
| 文件名 | 类型 | 语言 | 日期 | 文件大小 | |
|---|---|---|---|---|---|
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