干式螺杆真空泵应用范围广,可用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。
干泵的几大典型应用领域
1.在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。
2.在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得,能够抽除普通空气,易燃易爆气体和腐蚀性气体,尤其能满足对获得清洁真空要求高的环境;
3.石油化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取,高效回收溶剂,可大量抽除可凝性气体,或腐蚀性气体、有毒气体、含微尘的气体;
4.在脂肪酸生产中,用来消除水污染,清除喷射器中的阻塞物;
5.医药工业中用于回收药液及药物中间体,为人造器官生产提供清洁无菌条件,回收气体消毒剂;
6.食品工业中用于香料、香精浓缩、食品包装等。
干式螺杆泵的技术含量高,适合用在高纯净的真空工艺过程,其真空度极高,适应恶劣工况的能力强。不同于其他类型的真空泵对含颗粒物的气体较为敏感,干式螺杆泵可抽除可凝性和含颗粒物的气体,且易做防腐处理。
相比于其他的传统真空泵,干式螺杆真空泵更适合现在的新兴行业,如半导体、生物医药、电子、核能等。
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