这些真空泵品牌为何先后推出涡轮分子泵新品？

2020年12月10日，普发真空推出全新HiPace 350 和 450 涡轮分子泵，该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛，除了用于分析、真空工艺和半导体技术外，还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。

2020年5月14日，爱德华真空发布EDWARDS涡轮分子泵nEXT 730 & 930新品。该新品有更高抽速（氮气）——730l/s、925l/s；可360°任意角度安装；TIC控制器可同时控制分子泵和三路真空规管；维护间隔长，用户可自主维护；设计灵活等特点。

除了这2个品牌，安捷伦也发布了全新一代涡轮分子泵，称该全新产品具有高性能、高可靠性的同时，还能做到更经济。好凯德新推出的一款涡轮分子泵机组，是专为半导体行业设计的。

这些知名真空泵品牌为何花大量时间在涡轮分子泵的新品设计和生产中呢？涡轮分子泵市场又有哪些新发展？

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。其优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。好凯德涡轮分子泵还具有较高的性价比和灵活的安装方式，高抽速不受高负荷或杂质气体侵入影响。

涡轮分子泵主要应用在半导体、光学、镀膜和变压器领域；同时也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域。半导体领域中，分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。

由于半导体行业发展迅速，分子泵的市场拓展速度很快。

在国外，分子泵在半导体领域里的许多工艺场合是用来替代低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置中，用复合分子泵和牵引泵作为主泵。

随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足半导体等不同领域的个性化需求。

国外品牌已先一步推出新品分子泵以适应快速发展的半导体行业，相信很快国内真空泵品牌也会有新突破。